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全自動步進重復式激光干涉光刻機VIL 1000納米光刻系統具有全自動光路重構、動態(tài)鎖相、高精度步進重復曝光等強大功 能。在放置旋涂好光刻膠的 晶圓后，無需任何手...
VIL1000激光干涉光刻機 VIL系列納米圖形系統（激光干涉光刻機）具有快速可重構光束傳輸、主動圖形穩(wěn)定和精確樣品定位等強大功能。該系統可以通過使用標準2cm...
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